1、氧化鋯探頭老化
大多數探頭老化時，內阻將大于1kΩ，因此通過測量探頭內阻即可判斷探頭老化程度。一般情況下，在安裝點選擇合理和中等惡劣煙氣條件下，探頭使用一年后才會明顯老化。但是如果安裝點煙溫過高，或煙氣中二氧化硫含量太大，都會加速探頭老化，縮短探頭壽命。
2、氧量跳動
氧量運行曲線是一條有毛刺的波動線。毛刺和波動分別是短周噪聲和長周噪聲，分別是由爐膛壓力波動和風煤比波動引起的。因此毛刺和波動的大小決定于爐子的優劣，不是探頭本身引起的，正常的毛刺約為±0.4%，如果毛刺近于±1%為小跳動，大于±1%為大跳動，探頭老化是產生跳動的一個原因。
3、氧量顯示不正常
引起氧量顯示不正常的故障原因較多，主要有氧化鋯元件老化或損壞，加熱爐絲斷，熱電偶斷，需要更換相應儀器部件或探頭；另外連接導線接觸不良或斷開，也會引起氧量顯示不正常，需要重新連接導線或更換導線。
例如：被測氣體含氧量不為零時，氧量分析儀氧量測量顯示為零。
①溫度故障。溫度低的原因：
1）熱電偶損壞。可通過測量熱電偶電阻判斷。
2）加熱器損壞。切斷電源，測量加熱器的電阻，同時測量加熱器的引線與探頭外殼間絕緣電阻應大于2MΩ。
3）熱電偶或加熱器引線接觸不良。
②引線及轉換器故障。
③探頭內電極接觸不良。
④探頭內積聚大量可燃物。
4、氧量顯示偏高
引起氧量顯示偏高的原因較多，主要有爐墻漏風，安裝法蘭漏，探頭的標準氣體入口螺帽未擰緊，探頭內部管組件與外部管連接處、內部管與氧化鋯元件連接處不嚴密，氧化鋯老化等。判別方法是：當用標準氣體校準正常，而運行中氧量明顯偏高者可判為漏氣，即爐墻漏風，安裝法蘭漏，探頭的標準氣體入口螺帽未擰緊，或探頭內部管組件與外部管連接處、內部管與氧化鋯元件連接處不嚴密。
①爐墻漏風。如果探頭附近的爐墻漏風，呈負壓的煙道會將空氣吸入，氧量分析儀周圍的煙氣中混有空氣，此時測得的煙氣中的氧量包含了空氣中的氧氣，所以顯示值會偏高。應采取措施使探頭附近的爐墻密封。
②安裝法蘭漏，一是煙道法蘭焊接不密封，二是煙道法蘭與探頭法蘭之間的密封墊片不完好，三是探頭安裝螺栓擰不緊。煙道內呈微負壓，這種情況下空氣會從安裝法蘭處漏入煙道中，此時測得的煙氣中的含氧量包含了空氣中的氧氣，所以顯示值會偏高。應采取措施密封安裝。
③探頭的標準氣體入口螺帽未擰緊。如果探頭的標準氣體入口螺帽未擰緊，空氣則從螺帽處漏入到氧化鋯測量元件的測量端，此時空氣、煙氣混合，煙氣中含氧量增加，使得氧量顯示偏高。應將探頭的標準氣體入口螺帽擰緊。
④探頭內部管組件與外部管連接處、內部管與氧化鋯元件連接處不嚴密，主要有密封墊片破損或連接螺栓擰不緊兩種情況。氧量分析儀在線測量時煙道內呈負壓狀態，外部呈正壓，內外管連接處或內部管與氧化鋯元件連接處不嚴密都會使空氣中的氧通過縫隙進入到氧化鋯測量元件的測量端，此時空氣、煙氣混合，煙氣中含氧量增加，使得氧量分析儀測量值顯示偏高。
5、堵灰
當探頭安裝在煙速過大的縮口處，不僅探頭容易被磨損，而且容易堵灰。堵灰時，氧量變化十分緩慢。
6、溫度不正常
引起溫度不正常的原因很多，主要有熱電偶斷，加熱爐絲斷，供電有問題，超溫保護回路動作，加熱驅動信號失效，溫度控制回路故障等。
