小流量測量分兩種情況，一種是以較高的精度測量流過細小管道的氣體或液體；另一種是測量流量非常緩慢的流體的流量。適合用來測量微小流量的常用氣體流量計有很多種，例如差壓式、浮子式、旋渦式、熱式等，其中有些氣體流量計既適合測量中、大流量，也適合測量微小流量，而另一些專門為測量微小流量而設計。
1、差壓式流量計。適合測量小流量的差壓式流量計主要是內藏孔板差壓式流量計。這種流量計同由標準節流裝置為傳感器的流量計有幾點顯著的差別。第一個差別是結構上，內藏孔板是傳感器與變送器合為一體。第二個差別是管徑，內藏孔板適用的管徑均小于50mm，典型的管道內徑為10mm和20mm。第三個差別是精度，內藏孔板可通過實流標定的方法來保證測量精度，經過實流標定能達到1.5級的精度。
2、浮子流量計。浮子流量計也可以稱為轉子流量計，按材料分類主要有玻璃管浮子流量計、金屬管浮子流量計。浮子流量計依靠壓損小，測量范圍大的優勢，變成了工業控制中常用的一種流量測量儀表，它不僅使用方便，還有兼容性強等優勢。特別適宜低流速小流量的介質流量測量。浮子流量計具有結構簡單、直觀、壓力損失小、維修方便等特點。浮子流量計適用于測量通過管道直徑D<100mm的小流量，也可以測量腐蝕性介質的流量。
3、旋渦流量計。旋進旋渦氣體流量計是應用強迫振動的旋進旋渦原理工作的，旋進旋渦氣體流量計比同口徑渦街流量計的流量下限要低很多，對測量小流量氣體來講，這是優勢。旋進旋渦氣體流量計具有工作溫度范圍寬；范圍度大；在一定雷諾數范圍內，不受流體溫度、壓力、密度和黏度影響；適應性強，除含有較大顆粒或較長纖維雜質外，一般不需裝過濾器；對上下游直管段要求較低，取上游4D和下游2D直管段即可； 輸出頻率同體積流量成線性關系等特點。
4、熱式流量計。熱式氣體質量流量計的主要特點：直接測量質量流量無需溫壓補償；非接觸式，無活動部件，壓力損失小，可靠性高；可測量低流速微小氣體流量；要求氣體介質干燥潔凈，不含水分、油等雜質；插入式熱式氣體質量流量計同樣適用于中、大口徑氣體流量的測量。
